Počkejte prosím...
Data pro 2018/2019

Technologie materiálů pro elektroniku

Kredity 3
Rozsah 2 / 0 / 0
Examinace Zk
Jazyk výuky čeština
Úroveň magisterský předmět
Garant doc. Ing. Petr Slepička, Ph.D.

Anotace

Vývoj mikroelektroniky a fotoniky je přímo limitován technologickými možnostmi přípravy speciálních materiálů obvykle vysoce čistých a přípravou velmi složitých struktur a součástek v diskrétní či integrované formě. Zásadní roli zde hraje technologie polovodivých materiálů a struktur a tím možnost realizace a využití nových fyzikálních principů. Úkolem předmětu je seznámit posluchače se základními technologickými postupy přípravy důležitých polovodivých materiálů a struktur. Pozornost je především soustředěna na výrobu monokrystalických materiálů, zvláště pak křemíku a látek typu AIIIBV jako výchozích materiálů mikroelektronických a fotonických prvků a integrovaných struktur. Jsou vysvětleny i principy dalších postupů jako jsou epitaxní a difúzní technologie, vakuové napařování a naprašování, chemické metody depozice tenkých vrstev či litografické postupy přípravy obvodů s vysokou hustotou integrace.

Sylabus

1. Struktura polovodivých látek
2. Růst krystalů, klasifikace fázových rozhraní.
3. Krystalizace, teorie nukleace.
4. Transportní jevy na fázovém rozhraní
5. Výroba monokrystalů, Czochralského a Bridgmanova metoda.
6. Epitaxe z kapalné fáze, princip, zařízení, vlastnosti struktur.
7. Epitaxe z plynné fáze, princip, zařízení, vlastnosti struktur.
8. Molekulová epitaxe, princip, zařízení, vlastnosti struktur.
9. Difúze příměsí, iontová implantace, zařízení, výroba PN přechodu.
10. Vakuové napařování, princip, zařízení, vlastnosti struktur.
11. Vakuové naprašování, princip, zařízení, vlastnosti struktur.
12. Technologie mikroelektronických struktur.
13. Technologie polovodičových zdrojů záření pro optoelektroniku.
14. Integrace elektronických a optoelektronických struktur.

Literatura

Z: Hüttel I., Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, VŠCHT Praha, 2000, ISBN: 80-7080-387-8

VŠCHT Praha
Technická 5
166 28 Praha 6 – Dejvice
IČO: 60461373
DIČ: CZ60461373

Datová schránka: sp4j9ch

Copyright VŠCHT Praha 2014
Za informace odpovídá Oddělení komunikace, technický správce Výpočetní centrum
zobrazit plnou verzi